imec、ASML和台积电已成功在300mm晶圆上制造了互补型2D材料晶体管,实现了50nm的间距。这一突破将n型和p型晶体管与原子级薄的2D沟道集成在一起,是克服硅尺寸限制的重要一步。该工艺利用单次极紫外(EUV)曝光打印出短至28nm的沟道,94%的晶体管功能正常并表现出高开关电流比。通过集成两种极性并在标准生产设备上实现,利用新颖的“反向”薄膜晶体管流程解决接触电阻问题,这一成就标志着2D晶体管尺寸扩展的一个里程碑。 AI
影响 这一晶体管技术的进步可能为未来更强大、更高效的人工智能硬件奠定基础。
排序理由 半导体制造领域涉及多家行业巨头的研究里程碑。
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- IEEE/JSAP Symposium on VLSI Technology and Circuits
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