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实体 waveguide neural operator

waveguide neural operator

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  1. TOOL · CL_109530 ·

    AI驱动的逆向光刻技术推动EUV掩模设计

    研究人员开发了一种用于极紫外（EUV）掩模的基于梯度的方法逆向光刻技术（ILT）。该新框架集成了可微分的波导方法和波导神经网络算子（WGNO），以重建掩模的吸收体介电常数。数值模拟表明，该方法能够成功生成能够实现晶圆上所需场图案的掩模结构。