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实体 waveguide neural operator

waveguide neural operator

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  1. RESEARCH · CL_109530 ·

    新AI框架实现极紫外光刻掩模的基于梯度反向光刻

    研究人员开发了一种用于极紫外（EUV）光刻掩模的基于梯度反向光刻技术（ILT）。这一新颖的框架集成了可微分波导法和波导神经网络算子（WGNO）作为物理引擎。通过对整个前向衍射模型进行自动微分，该系统能够确定吸收体的介电常数，从而实现能够获得晶圆上所需场的光刻掩模结构。