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Shanghai Yuliangsheng Technology
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中国指定上海艾司科为首台国产DUV光刻机扫描仪制造商
上海艾司科已被确定为中国首台国产浸没式DUV光刻机扫描仪的制造商。这一发展意义重大，它标志着在先进芯片制造工具的国内生产方面迈出了重要一步，尽管中国供应商目前在ArF浸没式光刻胶等关键部件方面所占份额非常小。该公司资本雄厚，预计将为主要中国芯片制造商（如中芯国际、华虹半导体和长鑫存储）提供服务，这些制造商由于缺乏EUV技术而依赖DUV技术。
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中国开始量产国产浸没式DUV光刻机 · 跟踪2个来源
据报道，中国已开始量产其国产浸没式深紫外（DUV）光刻机，这是其国内芯片制造能力的一项重大进步。一家总部位于上海的国有企业预计将于今年向中芯国际、华虹和长鑫存储等主要中国代工厂交付首批设备。此前，美国正在考虑立法，以进一步限制中国获取先进半导体制造设备和服务的途径。