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  1. TOOL · CL_283217 ·

    Gigaphoton 发布氖气回收系统，助力芯片制造商

    日本半导体光刻设备制造商Gigaphoton开发了一套名为hTGM的新氖气回收系统。该系统已展示出50%的回收率，旨在提高效率并减少对乌克兰冲突造成的全球氖气供应链的依赖。Kanken Techno等其他公司也在开发类似技术，其中一些回收率超过90%，这表明半导体行业在氖气利用方面有巨大的改进潜力。