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Intel出货首批使用ASML高数值孔径EUV光刻技术制造的芯片

Intel已成为首家将ASML的高数值孔径EUV光刻技术用于大规模芯片生产的公司。这一里程碑涉及在其即将推出的Panther Lake处理器（基于Intel 18A工艺节点）的选定层中使用这项先进技术。这些通过双重认证的层既可以在现有EUV扫描仪上处理，也可以在新一代高数值孔径EUV扫描仪上处理，标志着半导体制造从研发走向商业部署的重要一步。