LithoDreamer

用于半导体光刻的新型物理信息世界模型

研究人员推出 LithoDreamer，一个新颖的物理信息世界模型框架，旨在解决半导体制造中计算光刻的复杂性。该框架将从掩模优化到光刻胶显影的整个光刻流程建模为一个多阶段演化系统。LithoDreamer 捕获状态之间的特征变化，并利用对比变分优化范式来指导模型生成与真实光刻物理学一致的演化，从而实现无需连续监督的可解释干预优化。实验证明了其在正向演化和逆向规划任务中的最先进性能。