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  1. RESEARCH · CL_173177 ·

    中国开发国产浸没式DUV光刻机扫描仪

    上海艾司科电子科技集团已被确定为中国首台国产浸没式DUV光刻机扫描仪的制造商。这一发展意义重大,旨在减少对关键半导体制造设备外国供应商的依赖。该公司成立于2023年8月,注册资本雄厚,预计将吸纳其他中国科技公司的工程人才,并计划将其设备交付给中芯国际、华虹半导体和长鑫存储技术等国内主要芯片制造商。