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Cymer
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中国初创公司演示采用国产组件的EUV光源原型
中国初创公司朗道思科（Langdao Silex）已演示了极紫外（EUV）光源原型，这是先进半导体制造的关键组件。该系统拥有超过15W的输出功率，并使用了约90%的国产组件。尽管作为原型令人印象深刻，但该技术距离大规模芯片生产的商业可行性仍有数年时间，该公司目标是在三到五年内实现商业化。
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中国指定上海艾司科为首台国产DUV光刻机扫描仪制造商
上海艾司科已被确定为中国首台国产浸没式DUV光刻机扫描仪的制造商。这一发展意义重大，它标志着在先进芯片制造工具的国内生产方面迈出了重要一步，尽管中国供应商目前在ArF浸没式光刻胶等关键部件方面所占份额非常小。该公司资本雄厚，预计将为主要中国芯片制造商（如中芯国际、华虹半导体和长鑫存储）提供服务，这些制造商由于缺乏EUV技术而依赖DUV技术。