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Carl Zeiss SMT
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中国指定上海艾司科为首台国产DUV光刻机扫描仪制造商
上海艾司科已被确定为中国首台国产浸没式DUV光刻机扫描仪的制造商。这一发展意义重大，它标志着在先进芯片制造工具的国内生产方面迈出了重要一步，尽管中国供应商目前在ArF浸没式光刻胶等关键部件方面所占份额非常小。该公司资本雄厚，预计将为主要中国芯片制造商（如中芯国际、华虹半导体和长鑫存储）提供服务，这些制造商由于缺乏EUV技术而依赖DUV技术。
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蔡司扩建以提升 ASML EUV 光刻机产量
蔡司正在德国奥伯科亨扩建其生产设施，以增加 ASML 极紫外光刻（EUV）扫描仪关键光学元件的产量。此次扩建包括新建厂房和增加生产空间，至关重要，因为蔡司半导体制造技术是这些关键部件的唯一供应商，直接限制了 ASML 的整体扫描仪生产能力。此举旨在支持 ASML 在未来几年大幅提升 EUV 系统产量的计划，这一举措已经对台积电和英特尔等主要芯片制造商产生了影响。