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实体 Shanghai Micro Electronics Equipment (SMEE)

Shanghai Micro Electronics Equipment (SMEE)

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  1. RESEARCH · CL_219588 ·

    在美国限制下,中国构建本土EUV计量生态系统

    中国正在开发自己的极紫外(EUV)计量生态系统,这对于先进半导体制造至关重要。该计划涉及国内团队致力于EUV光源和测量技术,以满足在13.5nm波长下检测芯片的需求。中芯国际(Smic)和上海微电子装备(SMEE)等主要参与者正在努力,旨在减少对荷兰ASML Holding等外国供应商的依赖,尤其是在美国实施限制的背景下。