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Pires

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  1. TOOL · CL_206050 ·

    新框架使用资讯理论模拟半导体工艺动力学

    一篇新研究论文提出了一种使用原始设备日志文件数据的资讯理论框架来模拟半导体工艺动力学。该方法估计变量之间的熵转移率,初步结果表明,大部分推断出的依赖关系是新颖的或合理的。该方法旨在揭示复杂半导体制造过程中新的因果洞见。