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TOOL · CL_348518 · Nov 7 · 14:51

利用气穴将硅晶圆转化为平面紫外聚焦镜

斯图加特大学的研究人员开发了一种新颖的方法，利用硅晶圆制造平面紫外聚焦镜。与传统的曲面光学或实心超表面不同，这种新方法利用蚀刻到硅中的纳米级气穴。这些“米氏空腔”主要将光限制在空气中，最大限度地减少了硅的吸收，而硅是紫外光的一个重大挑战。由此产生的超表面可以在 325 nm 处聚焦紫外光，为高分辨率成像和传感等应用中的紧凑高效光学系统开辟了新途径。