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TOOL · CL_308149 · Oct 19 · 04:00

新的LithoWorld模型利用SEM数据增强光刻工艺恢复

研究人员开发了LithoWorld，这是一种新颖的终端世界模型，旨在利用扫描电子显微镜（SEM）数据恢复光刻工艺窗口。该模型旨在纠正超出可接受参数范围的图案漂移，确保合格的SEM形貌。LithoWorld利用因果预测分支进行特征对齐，并利用条件流策略生成校正，在测试数据上合格区域的成功率达到88.5%，优于现有方法。