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Langdao Silex

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2026-10-15 product_launch Langdao Silex displayed an LPP extreme ultraviolet light source prototype at CIIF 2026. 来源

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TOOL · CL_301633 · Oct 15 · 07:45

Langdao Silex 发布EUV光源原型，量产需3-5年

总部位于上海的公司Langdao Silex发布了LPP极紫外（EUV）光源原型。虽然该原型展示了超过15W的低功率输出，但远未达到光刻量产所需的数百瓦功率。该公司估计，其EUV光源的量产仍需三到五年时间。