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实体 KrF photoresist resin

KrF photoresist resin

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  1. 2026-05-13 product_launch Shanghai AI Lab developed a new KrF photoresist resin using an AI platform. 来源
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  1. TOOL · CL_29681 ·

    上海人工智能实验室利用AI平台在半导体光刻胶领域取得突破

    上海人工智能实验室的研究人员开发出一种用于半导体制造的新型高纯度KrF光刻胶树脂。他们利用AI驱动的研发平台实现了符合行业标准的批次一致性。该材料目前正与恒坤新材料进行客户验证。
  2. RESEARCH · CL_27468 ·

    上海AI实验室通过AI推进芯片材料生产

    上海人工智能实验室与其他机构合作，开发了一种制造高纯度KrF光刻胶树脂的新方法，这是芯片制造的关键材料。这种由AI驱动的方法利用“申”科学大模型和发现平台，打破了对外国供应商的依赖，并为生产先进光刻胶材料提供了标准化、快速迭代的途径。这一突破是中国旨在提升核心芯片材料生产能力的国家倡议的一部分。