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Extreme Vacuum Technology

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  1. TOOL · CL_150596 ·

    极端真空技术对现代半导体制造至关重要

    现代半导体制造严重依赖极端真空技术，以实现亚纳米级芯片生产所需的精度。这项技术对于防止污染、实现复杂的蚀刻工艺以及稳定芯片制造中使用的等离子体至关重要。从早期的真空实验到先进的EUV光刻技术，维持真空环境是生产尖端半导体的基本要求。