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实体 EUV light source and apparatus for EUV lithography

EUV light source and apparatus for EUV lithography

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  1. TOOL · CL_301633 ·

    Langdao Silex 发布EUV光源原型,量产需3-5年

    总部位于上海的公司Langdao Silex发布了LPP极紫外(EUV)光源原型。虽然该原型展示了超过15W的低功率输出,但远未达到光刻量产所需的数百瓦功率。该公司估计,其EUV光源的量产仍需三到五年时间。