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实体 DUV lithography machines

DUV lithography machines

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  1. RESEARCH · CL_166323 ·

    中国开始量产国产DUV光刻机

    上海一家国有控股公司已开始量产中国首台国产浸没式DUV光刻机。今年预计将完成约五台此类先进的芯片制造设备，标志着中国在半导体制造能力方面迈出了重要一步。这一由The Information报道的发展，表明该国在减少对关键芯片生产基础设施的外国技术依赖方面取得了进展。