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Dual AC Resonance Tracking

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  1. TOOL · CL_193897 ·

    新型多任务扫描探针显微镜可自主选择测量

    研究人员开发了一种名为多任务扫描探针显微镜的新方法，该方法使用高斯过程自主选择下一个测量位置和实验方案。这种闭环工作流程在一个自动化的原子力显微镜上实现，并在 AlScN 晶圆上进行了演示。该方法将快速、扰动较小的成像与较慢、更详细的测量相结合，扩展了扫描探针显微镜中的主动学习。