实体 DSA-MP

DSA-MP

PulseAugur coverage of DSA-MP — every cluster mentioning DSA-MP across labs, papers, and developer communities, ranked by signal.

总计 · 30天

1

90 天内 1

发布 · 30天

0

90 天内 0

论文 · 30天

1

90 天内 1

层级分布 · 90 天

主题

情绪 · 30 天

1 天有情绪数据

最近 · 第 1/1 页 · 共 1 条

TOOL · CL_303313 · Oct 16 · 04:00

图神经网络增强光刻布局分解

研究人员开发了一种用于定向自组装与多重图形光刻（DSA-MP）相结合的布局分解新方法。这种新方法利用图神经网络来指导局部优化，解决了现有方法在解决方案质量、运行时间和DSA模板的关键边到边间距约束方面存在的局限性。所提出的技术旨在提高可制造性，并在各种规模和设计参数下，与当前最先进的方法相比，展示了更优的解决方案质量和更快的收敛速度。