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TOOL · CL_324919 · Oct 27 · 04:00

新框架使用少样本学习校准 Bosch 蚀刻模拟器

研究人员开发了一个新颖的框架，使用有限数量的真实世界测量数据来校准 Bosch 蚀刻模拟器。这种少样本方法将模拟器参数与直接工艺变量解耦，从而能够推断出特定配方的模拟器参数。该系统结合了局部探索、LLM 引导的候选生成和基于 XGBoost 的代理筛选，以有效地搜索参数空间，在保留的条件下实现蚀刻深度和侧壁角度的准确预测。