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  1. TOOL · CL_29681 ·

    上海人工智能实验室利用AI平台在半导体光刻胶领域取得突破

    上海人工智能实验室的研究人员开发出一种用于半导体制造的新型高纯度KrF光刻胶树脂。他们利用AI驱动的研发平台实现了符合行业标准的批次一致性。该材料目前正与恒坤新材料进行客户验证。