实体 0.33-NA EUV

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RESEARCH · CL_241221 · Sep 8 · 06:00

Intel处理超过100万片High-NA EUV晶圆，超越行业总和 · 跟踪1个来源

Intel已实现一项重大里程碑，处理超过一百万片High-NA EUV晶圆，超越了行业其他公司的总和。这项在不到两年半的时间内完成的成就，展示了Intel对ASML的High-NA EUV扫描仪（包括更快的EXE:5200B型号）的先进利用。该公司还在率先开发更大的6x12英寸光刻掩模，这将实现全场曝光而无需拼接，从而提高生产速度并降低与当前拼接方法相关的成本。