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RESEARCH · CL_11696 · May 1 · 04:00

WaferSAGE 使用 LLM 通过合成数据分析半导体缺陷

研究人员开发了 WaferSAGE，一个利用 4B 参数 Qwen3-VL 模型进行半导体制造晶圆缺陷视觉问答的框架。该系统通过采用由结构化评分指南指导的三阶段合成数据生成流程来解决数据稀缺问题。这种方法能够进行精确评估，涵盖缺陷识别、空间分布、形态和根本原因分析，支持本地部署和成本效益解决方案。